PT2000-450L
設(shè)備的工作參數(shù)是由放電功率、進氣量、處理時間、腔體內(nèi)溫度等組成，主要性能如下：
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項目
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性能參數(shù)
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設(shè)備總重
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約900Kg
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額定功率
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額定功率3KW,峰值功率12KW
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處理層數(shù)
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13層
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腔體容積
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長X寬X高=800mmX700mmX900mm
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單層處理最大面積
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長X寬=850mmX600mm 約0.5M
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單層處理最大面積
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6.5M
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單層處理時間
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10-20分鐘
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處理真空度
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30-100Pa 可調(diào)
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可抽極限壓力
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4.0X10Pa
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抽真空時間
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約一分鐘
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等離子發(fā)生器功率
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2-6KW 可調(diào)
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等離子發(fā)生器頻率
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40KHz＋100Hz
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流量計調(diào)節(jié)范圍
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0-1000毫升/分鐘 可調(diào)
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溫度調(diào)節(jié)范圍
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20-200°C 可調(diào)
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